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2025-05-08
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ISO 14644-1:2015 无尘室规范——打造高洁净度环境的关键标准(Cleanrooms and Associated Controlled Environments)

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ISO 14644-1:2015 无尘室规范——打造高洁净度环境的关键标准(Cleanrooms and Associated Controlled Environments)

ISO 14644-1:2015

机械设备与Lubricant Grease 静置在无尘室时,不会产生发尘情况,即不会产生空气中的微粒airborne particles。
机械设备运转操作时因其诸多设计元素规格与Lubricant Grease 的黏度/温度…等规格选用的搭配,才得以测出该设备系统在操作状态下,对应出符合半导体或面板业界的无尘室标准作业中particls 的ISO class 等级。

ISO 14644-1:2015
规定无尘室
空气悬浮颗粒浓度的空气洁净度class 等级

SGS 官网的无尘室空气particle class等级检测依循ISO 14644-1:2015 
(Resource from www.sgs.com.tw)

SGS 的无尘室particle class等级检测示例其测试流程说明如下:

1. 测试环境 无尘室条件:ISO 3 级;
0.1 微米&0.3微米。
温度20±2℃,相对湿度50±10%。
2. 测试流程 3.1.背景测试:未开机前以无尘室内的空气,测量5次取平均值。
3.2 运行测试:打开设备模拟操作,用尘埃粒子计数器测量particle 颗粒,操作时间为五分钟。

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