PRODUCT
产品介绍
【最高使用温度】
-138°C~124°C
【包装规格】
NOAH® 冷却液（Chiller 半导体机台）
半导体晶圆生产流程中对装置零件、腔体洁净度要求高，纬登所提供的氢氟精密清洁剂无毒性、不燃、不破坏臭氧层、低温室效应，符合半导体需求，且可降低成本提升对比，可运用于光学手机镜头及液晶面板精密清洗。
- 优异的环保性能
- 良好的使用安全性能
- 高效率的绝缘性能
- 低介电常数
- 不可燃
| 产品特性 | Noah® SC115 | Noah® SC125 | Noah® SC60 | Noah® SC76 | Noah® SC100 |
|---|---|---|---|---|---|
| 产品性状 | 无色、无味、透明液体无色 | ||||
| Boiling Point (°C) | 110～115°C | 124.4°C | 59°C | 76°C | 100.5°C |
| ODP | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| GWP | 120 | 108 | 320 | 55 | 200 |
| Flash Point | NO | NO | NO | NO | NO |
| Pour Point (°C) | -109 | -82 | -135 | -138 | -36.9 |
| Critical Temperature (°C) | 248.4 | 196.5 | 195 | 210 | 243 |
| Critical Pressure (Mpa) | 5.03 | 4.28 | 2.23 | 2.01 | 1.88 |
| Vapor Pressure (kPa) | 2.4 | 1.5 | 27.78 | 14.5 | 6.95 |
| Heat of vaporization (KJ/Kg) | 92.23 | 82.8 | 114 | 125.6 | 97.99 |
| Liquid density (Kg/m3) | 1815 | 1855 | 1600 | 1432 | 1656 |
| Kinematic viscosity (cSt) | 1.35 | 1.38 | 0.47 | 0.48 | 1.2 |
| Specific Heat (J/Kg-K) | 1177 | 1107 | 1409 | 1220 | 1199 |
| Surface tension (dynes/cm3) | 15 | 15.69 | 14.15 | 14.12 | 15.01 |
| Dielectric strength (Kv) | 39.4 | >35.7 | >41.9 | >29.9 | >25.3 |
| Dielectric constant @ 1 kHz | 1.79 | 2.09 | 8.2 | 9.63 | 7.16 |
| Resistivity (Ohm-cm) | 2.50E+15 | >1.00E+15 | 1.53E+11 | 2.90E+10 | 1.22E+11 |
| Thermal conductivity (W/mK) |
0.0623 | 0.0614 | 0.0637 | 0.063 | 0.065 |
| Moisture (ppm) | <15 | <15 | <50 | <50 | <50 |
| Operating Range (°C) | -40~90 | -40~110 | -105~50 | -105~65 | -30~85 |